Theoretische und experimentelle Untersuchungen zur Leistungsfestigkeit von Oberflächenwellen-Filtern

Akustomigration ist ein bekanntes Problem im Bereich der Oberflächenwellen (OFW)-Technik, welches zur Schädigung oder unter Umständen auch zur Zerstörung eines OFW-Bauteils führen kann. Um den derzeitigen und zukünftigen Anforderungen an OFWBauteile gerecht zu werden, sind leistungsfestere Metallisierungen erforderlich. Mehr und mehr werden aber auch innovative Metallisierungen benötigt, die neben einer hohen Leistungsfestigkeit eine niedrige Einfügedämpfung gewährleisten. Um diesem Anspruch durch eine optimale Metallisierung gerecht zu werden, ist ein tiefergehendes Verständnis des Mechanismus der Akustomigration von essentieller Bedeutung. In dieser Arbeit wurde das Problem der Akustomigration sowohl experimentell als auch theoretisch umfassend untersucht. Die auf der P-Matrix Methode beruhende Berechnung liefert die gesamte akustische, kinetische und potentielle Leistung in OFW-Bauteilen. Die Berechnung der gesamten akustischen Leistung im Bauteil konnte quantitativ durch die Bestimmung von Resonanzgüten verifiziert werden. Somit konnte ein genauer Zusammenhang zwischen der angelegten Leistung und der akustischen Leistungsverteilung im OFW-Bauteil angegeben werden.