Semiconductor Manufacturing di Reinhardt, Reidy edito da John Wiley & Sons
Alta reperibilità

Semiconductor Manufacturing

Fundamentals And Applications

EAN:

9780470625958

ISBN:

0470625953

Pagine:
616
Formato:
Hardback
Lingua:
Inglese
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Descrizione Semiconductor Manufacturing

This comprehensive volume provides an in-depth discussion of the fundamentals of cleaning and surface conditioning of semiconductor applications such as high-k/metal gate cleaning, copper/low-k cleaning, high dose implant stripping, and silicon and SiGe passivation.

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