Quasi-monolithische Integrationstechnologie (QMIT) für High-Power-Anwendungen im Mikrowellenbereich
- Editore:
Kassel University Press
- EAN:
9783899587388
- ISBN:
3899587383
- Formato:
- Paperback
- Lingua:
- Tedesco
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Descrizione Quasi-monolithische Integrationstechnologie (QMIT) für High-Power-Anwendungen im Mikrowellenbereich
In dieser Arbeit wurde ein Verfahren entwickelt, um ungehäuste High-Power-Hochfrequenztransistoren in Kavitäten, die in einem Siliziumsubstrat erstellt wurden, einzubetten. Das Verfahren kombiniert die Vorteile der monolithischen und hybriden Integration von Hochfrequenzschaltungen und wird als quasi-monolithische Integrationstechnologie (QMIT) bezeichnet.
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