Process Technology for Silicon Carbide Devices
- Collana:
- Emis Processing
- EAN:
9780852969984
- ISBN:
0852969988
- Pagine:
- 200
- Formato:
- Hardback
- Lingua:
- Inglese
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Descrizione Process Technology for Silicon Carbide Devices
This book explains why SiC is so useful in electronics, gives clear guidance on the various processing steps (growth, doping, etching, contact formation, dielectrics etc) and describes how these are integrated in device manufacture.
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