Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid
- Editore:
Cuvillier Verlag
- EAN:
9783954049851
- ISBN:
3954049856
- Pagine:
- 167
- Formato:
- Paperback
- Lingua:
- Tedesco
Descrizione Hybrid-Gasphasenepitaxie zur Herstellung von Aluminiumgalliumnitrid
Diese Arbeit zeigt, wie die epitaktische Abscheidung von AlGaN-Schichten im gesamten Kompositionsbereich mittels Hydrid-Gasphasenepitaxie (HVPE) realisiert wird. Die Optimierung eines für die Abscheidung verwendeten Quarzglasreaktors und das AlGaN-Wachstum durch ein quasi-thermodynamisches Modell werden detailliert beschrieben. Eine entscheidende Verbesserung der AlGaN-Materialqualität wird durch das Verfahren des epitaktisch lateralen Überwachsens strukturierter Substrate sowie durch Parameterstudien zum Substratfehlschnitt, Gesamtdruck und V/III-Verhältnis erreicht. Die Untersuchung struktureller und optischer Eigenschaften des abgeschiedenen Materials zeigt, dass die HVPE ein geeignetes Verfahren ist, um dicke, einheitlich orientierte, transparente AlGaN-Schichten herzustellen.