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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
- Editore:
Springer Berlin Heidelberg
- Collana:
- Ipa-iao - Forschung Und Praxis
- EAN:
9783540585114
- ISBN:
3540585117
- Pagine:
- 128
- Formato:
- Paperback
- Lingua:
- Tedesco
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Descrizione Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren
zur Substratoberfliiche wird dort ein Teilchen beschuB ennoglicht.
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