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Handbook of VLSI Microlithography, 2nd Edition

Handbook of VLSI Microlithography, 2nd Edition

di Helbert Helbert

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Descrizione

The entire technology of printing high resolution and high-density integrated circuits patterns into thin resist process pattern transfer coatings is given a close look here. Includes optical lithography, electron-beam, ion beam and X-ray lithography and coverage of various lithography methods.

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