The chemistry of the semiconductor industry

di Moss S.j. Ledwith, A.

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This book covers the chemistry of the major processes involved in the manufacture of integrated circuits. The authors describe all the major processes in use, together with some processes which are currently being developed and hold future promise.

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Titolo: The chemistry of the semiconductor industry
Autore: Moss S.j. Ledwith, A.
Editore: Kluwer Academic Publishers Group
Data di Pubblicazione: 07/1987
Origine: Netherlands
Illustrazioni: Illustrations, index
ISBN: 0216920051
ISBN-13: 9780216920057
Pagine: 444
Dimensioni: 235 x 155 x 26
Pagination:
Reparto: Sciences and technology

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